escalfament del reactor mocvd amb inducció
Escalfament per inducció Els reactors de deposició de vapor químic metalorgànic (MOCVD) són una tecnologia destinada a millorar l'eficiència de la calefacció i reduir l'acoblament magnètic nociu amb l'entrada de gas. Els reactors MOCVD d'escalfament per inducció convencionals solen tenir la bobina d'inducció situada fora de la cambra, cosa que pot provocar un escalfament menys eficient i una possible interferència magnètica amb el sistema de lliurament de gas. Recents… Llegeix més